クリーン・ファンフィルターユニット

HEPAフィルターでクリーンエアーを供給

HEPAフィルタ内蔵のファン・フィルターユニットにより、クリーン化されたエアーを供給します。

新開発 熱線抵抗式風速センサー

換気回数の低下を予防

新開発の熱線抵抗式風速センサーを搭載。フィルターの目詰りによる風速圧損を検知し、風速低下に伴う換気回数の低下を防ぐことが可能です。

目詰り診断機能

フィルターの目詰りが原因で発生する風速低下を予防

フィルターの目詰りなどによる風速低下時には自動的にアラームを点灯、外部への警報出力も可能です。任意の風速レベルに、しきい値を設定する可変トリマーも標準装備されています。

風速可変コントロール機能（05FFU）

風量低下時に風量アップが可能

ファン・フィルターユニットに内蔵されている送風用ファンモーターの風量をボリュームにより可変、調整できます。風量の微調整の場合や、圧損による風量低下時に風量アップさせることが可能です。

ワンタッチ錠付きクイックトップメンテナンス方式（01FFU～05FFU）

工具レスで簡単交換

HEPAフィルターの交換が簡単にできるワンタッチ錠を採用。工具レスでHEPAフィルターの取り出し、交換が可能です。

側面吸い込み（11FFU～17FFU）

天井とのクリアランスを最小限に

外気吸い込みをファン・フィルターユニットの側面より行うことで、天井とのクリアランスを最小限に抑えることが可能。クリーンブース設置場所の天井が低い場合や、クリーンブース本体の高さ・寸法が大きい場合に有効です。

ボトムメンテナンス方式（05FFU-DM、A11FFU～A17FFU）

高所でのメンテナンスを回避

HEPAフィルターの交換をブース内部より行うことが可能。高所でのメンテナンスを回避できます。

クリーン環境を容易に構築可能

精密空調機との組み合わせで温度・湿度のコントロールも可能

精密空調機とファン・フィルターユニットとの組み合わせにより、クリーン環境を容易に構築可能。PAUユニットで作られた精密エアーをHEPAフィルターに通すことで、清浄度の高いクリーンエアーとなり、局所にクリーンエアーを供給することが可能になります。しかも対象空間の容積や要求されるクリーン度のレベルに応じて自由にクリーンユニットを選択できますので、「温湿度コントロール」プラス「最適なクリーン環境構築」が気軽に行えます。