全体空調と局所空調

全体空調とは？

半導体・電子部品・精密機器・医薬・医療機器などの製造プロセスでは、製品の品質や性能を保証し、歩留まりを安定させるために、工程全体やフロア・建屋全体を同一空調レベルの温度・湿度コントロールを導入します。このような空調方式を「全体空調」と呼んでいます。

これらの工程では、微細な粉塵や汚染物質などのコンタミネーション（異物混入）を嫌い、非常に高い清浄度を実現させる必要から、「クリーンルーム」として実現させることが一般的です。

局所空調とは？

全体空調は環境負荷が非常に大きく、かつ製造プロセスや装置ごとに適切な温度・湿度管理をシビアには対応できません。そこで個々の製造プロセスや装置に空間を限定することで、シビアな温度・湿度管理を実現させる空調方式を「局所空調」と呼んでいます。単純に空調機を個別に設置する「個別空調」と区別しています。

さらに、より高精度な温度・湿度管理が要求されるプロセス空調方式を「精密空調」と呼んでいます。

局所精密空調とは？

精密空調にも全体空調方式と個別空調方式がありますが、対象空間を限定した個別空調方式での精密空調をアピステでは「局所精密空調」と呼んでいます。

即納体制で、すぐに高精度環境を実現します。

設置はカンタン！ まずはダクトと電気をつなぐだけ。

最速、1時間以内で設置できます。

対象装置や対象空間がほぼ密閉であれば、精密空調ユニットにダクトを接続し、電気配線を施工すれば、最速では1時間以内で恒温環境を実現します。
注）上記は空冷式温度制御モデルを前提としています。
注）対象装置と対象空間側に一部穴あけ加工が必要となります。
注）電源はあらかじめご用意ください。機種により単相/三相となります。

＜設置作業フローイメージ＞

環境負荷の低減、大幅なコストダウンと時間短縮を実現します。

• 初期コストの大幅削減
• ランニングコストの大幅削減
• メンテナンスコストの大幅削減
• 打合せ時間の大幅短縮
• 出荷納期の大幅短縮
• 工事期間の大幅短縮

その他、たくさんのメリットをご提供します。

• 局所空間だからこそ、高精度な温度・湿度精度を実現します。
• 移設もカンタン！ 要求仕様の変更にも対応します。
• さらに、地球環境にやさしくフロン排出抑制法対象外のノンフロンタイプをご用意しています。

対象空間の大きさ

対象空間が大きくなるほど温湿度を高精度に維持するのが困難になります。

換気回数と風量

換気回数を多くし大風量にすると温湿度の分布が均一になり、高精度を維持しやすくなり、さらに対象空間の清浄度（クリーン度）はアップしますが、維持費もアップします。

冷却/加熱能力と除湿/加湿能力

空調機の吸込空気（OA）の最高/最小温湿度条件を対象空間の目標温湿度条件に十分到達可能な冷却/加熱/除湿/加湿能力がないと、目標温湿度条件に達しないだけでなく、温湿度が安定せず、外乱の影響を受けやすくなります。

空調制御方式

組み合わせる空調システムによっては、温湿度が変動する原因となることがあります。デフロストが必要な大型冷却器では、デフロスト中は、温湿度条件を外れることがあります。湿式の大型加湿器は、気化潜熱により空気の温度が低下します。デシカント式と呼ばれる吸着式除湿器は、ローターの加熱再生のため大きな排熱処理が必要です。

侵入熱/放熱

対象空間の周囲からの侵入熱や放熱があると、対象空間の外乱要因となり、侵入熱や放熱の大きさによっては、その影響を大きく受けることがあるため断熱対策が必要となります。

外気導入と外気変動

全体空調の場合、外気導入するため導入する外気の変動により、夏・冬や天候により取り込む温湿度が大きく変動するため、空調機で処理する空気（SA）も連動して変動し、時には目標温湿度条件から外れることが起こります。

全体空調と局所空調の温度・湿度精度を比較すると以下のようになります。

全体空調と局所空調の温度・湿度精度を比較すると以下のようになります

（目安）	全体空調	一般空調	精密空調
温度制度	±2～5℃	±1～2℃	±0.1℃
湿度制度	±5～10％	±5％	±1％
イニシャルコスト	▲	▲	◎
ランニングコスト	▲	○	◎
メンテナンス	▲	△	◎
個別制御	▲	△	◎
設置納期	▲	△	◎
ノンフロン化	▲▲	▲▲	◎