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※3D CADデータは2Dからのモデリング図面となります。細部は実際と異なる場合があります。
ノンフロン・省エネモデル
PAU-GR300SE
PAU-GR300SE
PAU-GR800SE
PAU-GR800SE
PAU-GR1800SE
PAU-GR1800SE
PAU-GR3000SE
PAU-GR3000SE
PAU-GR8000SE
PAU-GR8000SE
PAU-GR800SE-HC
PAU-GR800SE-HC
PAU-GR1800SE-HC
PAU-GR1800SE-HC
PAU-GR3000SE-HC
PAU-GR3000SE-HC
PAU-GR8000SE-HC
PAU-GR8000SE-HC
PAU-GRW9000SE-HC
PAU-GRW9000SE-HC
省エネ・高精度モデル/標準モデル
PAU-AZ1800SE
PAU-AZ1800SE
PAU-AZ3000SE
PAU-AZ3000SE
PAU-AZ7000SE
PAU-AZ7000SE
PAU-AZW8000SE
PAU-AZW8000SE
PAU-AZW8000SE-HC
PAU-AZW8000SE-HC
PAU-AZ2000SE-DR
PAU-AZ2000SE-DR
PAU-300S
PAU-300S
PAU-AR800S
PAU-AR800S
PAU-A920S-HC
PAU-A920S-HC
PAU-A1400S-HC
PAU-A1400S-HC
クリーン・ファンフィルターユニット
PAU-01FFU
PAU-01FFU
PAU-03FFU
PAU-03FFU
PAU-05FFU
PAU-05FFU
PAU-A11FFU
PAU-A11FFU
PAU-A14FFU
PAU-A14FFU
PAU-A17FFU
PAU-A17FFU
PAU-A11FFU-ULPA
PAU-A11FFU-ULPA
PAU-A14FFU-ULPA
PAU-A14FFU-ULPA
PAU-A17FFU-ULPA
PAU-A17FFU-ULPA
HEPAユニット
OP-PAUGR-OTR001
OP-PAUGR-OTR001
対応型式:
PAU-GR3000SE
OP-PAUGR-OTR002
OP-PAUGR-OTR002
対応型式:
PAU-GR8000SE
OP-PAUGR-OTR003
OP-PAUGR-OTR003
対応型式:
PAU-GR3000SE-HC
OP-PAUGR-OTR004
OP-PAUGR-OTR004
対応型式:
PAU-GR8000SE-HC
OP-PAUGR-OTR005
OP-PAUGR-OTR005
対応型式:
PAU-GRW9000SE-HC
接続ボックス/接続フランジ
PAU接続ボックス(φ75)
PAU接続ボックス(φ75)
PAU接続ボックス(φ100)
PAU接続ボックス(φ100)
PAU接続ボックス(φ150)
PAU接続ボックス(φ150)
PAU接続フランジA150(φ150)
PAU接続フランジA150(φ150)
PAU接続フランジA200(φ200)
PAU接続フランジA200(φ200)
内部循環フランジ
OP-PAUGR-MEC001
OP-PAUGR-MEC001
対応型式:
PAU-GR300SE
OP-PAUGR-MEC002
OP-PAUGR-MEC002
対応型式:
PAU-GR800SE/PAU-GR800SE-HC
OP-PAUGR-MEC003
OP-PAUGR-MEC003
対応型式:
PAU-GR1800SE/PAU-GR1800SE-HC
OP-PAUGR-MEC011
OP-PAUGR-MEC011
対応型式:
PAU-GR3000SE/PAU-GR3000SE-HC
OP-PAUGR-MEC021
OP-PAUGR-MEC021
対応型式:
PAU-GR8000SE/PAU-GR8000SE-HC/PAU-GRW9000SE-HC
PAU内部循環フランジ②
PAU内部循環フランジ②
対応型式:
PAU-A1400S-HC
PAU内部循環フランジ⑪
PAU内部循環フランジ⑪
対応型式:
PAU-AR800S
PAU内部循環フランジ⑫
PAU内部循環フランジ⑫
対応型式:
PAU-A920S-HC
PAU内部循環フランジ㉑
PAU内部循環フランジ㉑
対応型式:
PAU-AZW8000SE-HC/PAU-AZW8000SE/PAU-AZ2000SE-DR/PAU-AZ7000SE
PAU内部循環フランジ㉒
PAU内部循環フランジ㉒
対応型式:
PAU-AZ1800SE
PAU内部循環フランジ㉓
PAU内部循環フランジ㉓
対応型式:
PAU-AZ3000SE
PAU内部循環フランジ㉔
PAU内部循環フランジ㉔
対応型式:
PAU-300S
アイフランジ
PAU盤用アイフランジ(φ75)
PAU盤用アイフランジ(φ75)
PAU盤用アイフランジ(φ100)
PAU盤用アイフランジ(φ100)
PAU盤用アイフランジ(φ150)
PAU盤用アイフランジ(φ150)
PAU盤用アイフランジ(φ200)
PAU盤用アイフランジ(φ200)
PAU盤用アイフランジ(φ250)
PAU盤用アイフランジ(φ250)
排気チャンバー
OP-PAUGR-MEC004
OP-PAUGR-MEC004
対応型式:
PAU-GR300SE
OP-PAUGR-MEC005
OP-PAUGR-MEC005
対応型式:
PAU-GR800SE/PAU-GR800SE-HC
OP-PAUGR-MEC006
OP-PAUGR-MEC006
対応型式:
PAU-GR1800SE/PAU-GR1800SE-HC
OP-PAUGR-MEC012
OP-PAUGR-MEC012
対応型式:
PAU-GR3000SE
OP-PAUGR-MEC022
OP-PAUGR-MEC022
対応型式:
PAU-GR8000SE
OP-PAUGR-MEC013
OP-PAUGR-MEC013
対応型式:
PAU-GR3000SE-HC
OP-PAUGR-MEC023
OP-PAUGR-MEC023
対応型式:
PAU-GR8000SE-HC
PAU排気チャンバー①
PAU排気チャンバー①
対応型式:
PAU-A1400S-HC/PAU-AR800S/PAU-A920S-HC/PAU-AZ1800SE
PAU排気チャンバー⑤
PAU排気チャンバー⑤
対応型式:
PAU-300S
PAU排気チャンバー⑭
PAU排気チャンバー⑭
対応型式:
PAU-AZ7000SE/PAU-AZ2000SE-DR
PAU排気チャンバー⑮
PAU排気チャンバー⑮
対応型式:
PAU-AZ3000SE
転倒防止金具
OP-PAUGR-MEC014
OP-PAUGR-MEC014
対応型式:
PAU-GR800SE/PAU-GR1800SE/PAU-GR3000SE/PAU-GR8000SE/
PAU-GR800SE-HC/PAU-GR1800SE-HC/PAU-GR3000SE-HC/
PAU-GR8000SE-HC/PAU-GRW9000SE-HC