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※3D CADデータは2Dからのモデリング図面となります。細部は実際と異なる場合があります。
ノンフロン・省エネモデル

PAU-GR300SE
PAU-GR300SE

PAU-GR800SE
PAU-GR800SE

PAU-GR1800SE
PAU-GR1800SE

PAU-GR3000SE
PAU-GR3000SE

PAU-GR8000SE
PAU-GR8000SE

PAU-GR800SE-HC
PAU-GR800SE-HC

PAU-GR1800SE-HC
PAU-GR1800SE-HC

PAU-GR3000SE-HC
PAU-GR3000SE-HC

PAU-GR8000SE-HC
PAU-GR8000SE-HC

PAU-GRW9000SE-HC
PAU-GRW9000SE-HC
省エネ・高精度モデル/標準モデル

PAU-AZ1800SE
PAU-AZ1800SE

PAU-AZ3000SE
PAU-AZ3000SE

PAU-AZ7000SE
PAU-AZ7000SE

PAU-AZW8000SE
PAU-AZW8000SE

PAU-AZW8000SE-HC
PAU-AZW8000SE-HC

PAU-AZ2000SE-DR
PAU-AZ2000SE-DR

PAU-300S
PAU-300S

PAU-AR800S
PAU-AR800S

PAU-A920S-HC
PAU-A920S-HC

PAU-A1400S-HC
PAU-A1400S-HC
クリーン・ファンフィルターユニット

PAU-01FFU
PAU-01FFU

PAU-03FFU
PAU-03FFU

PAU-05FFU
PAU-05FFU

PAU-A11FFU
PAU-A11FFU

PAU-A14FFU
PAU-A14FFU

PAU-A17FFU
PAU-A17FFU

PAU-A11FFU-ULPA
PAU-A11FFU-ULPA

PAU-A14FFU-ULPA
PAU-A14FFU-ULPA

PAU-A17FFU-ULPA
PAU-A17FFU-ULPA
HEPAユニット

OP-PAUGR-OTR001
OP-PAUGR-OTR001
対応型式:
PAU-GR3000SE

OP-PAUGR-OTR002
OP-PAUGR-OTR002
対応型式:
PAU-GR3000SE-HC

OP-PAUGR-OTR003
OP-PAUGR-OTR003
対応型式:
PAU-GR8000SE

OP-PAUGR-OTR004
OP-PAUGR-OTR004
対応型式:
PAU-GR8000SE-HC

OP-PAUGR-OTR005
OP-PAUGR-OTR005
対応型式:
PAU-GRW9000SE-HC
接続ボックス/接続フランジ

PAU接続ボックス(φ75)
PAU接続ボックス(φ75)

PAU接続ボックス(φ100)
PAU接続ボックス(φ100)

PAU接続ボックス(φ150)
PAU接続ボックス(φ150)

PAU接続フランジA150(φ150)
PAU接続フランジA150(φ150)

PAU接続フランジA200(φ200)
PAU接続フランジA200(φ200)
内部循環フランジ

OP-PAUGR-MEC001
OP-PAUGR-MEC001
対応型式:
PAU-GR300SE

OP-PAUGR-MEC002
OP-PAUGR-MEC002
対応型式:
PAU-GR800SE/PAU-GR800SE-HC

OP-PAUGR-MEC003
OP-PAUGR-MEC003
対応型式:
PAU-GR1800SE/PAU-GR1800SE-HC

OP-PAUGR-MEC011
OP-PAUGR-MEC011
対応型式:
PAU-GR3000SE/PAU-GR3000SE-HC

OP-PAUGR-MEC021
OP-PAUGR-MEC021
対応型式:
PAU-GR8000SE/PAU-GR8000SE-HC/PAU-GRW9000SE-HC

PAU内部循環フランジ②
PAU内部循環フランジ②
対応型式:
PAU-A1400S-HC

PAU内部循環フランジ⑪
PAU内部循環フランジ⑪
対応型式:
PAU-AR800S

PAU内部循環フランジ⑫
PAU内部循環フランジ⑫
対応型式:
PAU-A920S-HC

PAU内部循環フランジ㉑
PAU内部循環フランジ㉑
対応型式:
PAU-AZW8000SE-HC/PAU-AZW8000SE/PAU-AZ2000SE-DR/PAU-AZ7000SE

PAU内部循環フランジ㉒
PAU内部循環フランジ㉒
対応型式:
PAU-AZ1800SE

PAU内部循環フランジ㉓
PAU内部循環フランジ㉓
対応型式:
PAU-AZ3000SE

PAU内部循環フランジ㉔
PAU内部循環フランジ㉔
対応型式:
PAU-300S
アイフランジ

PAU盤用アイフランジ(φ75)
PAU盤用アイフランジ(φ75)

PAU盤用アイフランジ(φ100)
PAU盤用アイフランジ(φ100)

PAU盤用アイフランジ(φ150)
PAU盤用アイフランジ(φ150)

PAU盤用アイフランジ(φ200)
PAU盤用アイフランジ(φ200)

PAU盤用アイフランジ(φ250)
PAU盤用アイフランジ(φ250)
排気チャンバー

OP-PAUGR-MEC004
OP-PAUGR-MEC004
対応型式:
PAU-GR300SE

OP-PAUGR-MEC005
OP-PAUGR-MEC005
対応型式:
PAU-GR800SE/PAU-GR800SE-HC

OP-PAUGR-MEC006
OP-PAUGR-MEC006
対応型式:
PAU-GR1800SE/PAU-GR1800SE-HC

OP-PAUGR-MEC012
OP-PAUGR-MEC012
対応型式:
PAU-GR3000SE

OP-PAUGR-MEC022
OP-PAUGR-MEC022
対応型式:
PAU-GR8000SE

OP-PAUGR-MEC013
OP-PAUGR-MEC013
対応型式:
PAU-GR3000SE-HC

OP-PAUGR-MEC023
OP-PAUGR-MEC023
対応型式:
PAU-GR8000SE-HC

PAU排気チャンバー①
PAU排気チャンバー①
対応型式:
PAU-A1400S-HC/PAU-AR800S/PAU-A920S-HC/PAU-AZ1800SE

PAU排気チャンバー⑤
PAU排気チャンバー⑤
対応型式:
PAU-300S

PAU排気チャンバー⑭
PAU排気チャンバー⑭
対応型式:
PAU-AZ7000SE/PAU-AZ2000SE-DR

PAU排気チャンバー⑮
PAU排気チャンバー⑮
対応型式:
PAU-AZ3000SE
転倒防止金具

OP-PAUGR-MEC014
OP-PAUGR-MEC014
対応型式:
PAU-GR800SE/PAU-GR1800SE/PAU-GR3000SE/PAU-GR8000SE/
PAU-GR800SE-HC/PAU-GR1800SE-HC/PAU-GR3000SE-HC/
PAU-GR8000SE-HC/PAU-GRW9000SE-HC
販売終了商品

PAU-AR1400S
PAU-AR1400S

PAU-AR2600S
PAU-AR2600S

PAU-05FFU-DM
PAU-05FFU-DM

PAU-A5000S
PAU-A5000S

PAU-AN1700SE
PAU-AN1700SE

PAU-AN2800SE
PAU-AN2800SE

PAU-300S-HC
PAU-300S-HC

PAU-A2600S-HC
PAU-A2600S-HC

PAU-A3500S-HC
PAU-A3500S-HC

PAU-WA3430-1
PAU-WA3430-1

PAU-WA6860-2
PAU-WA6860-2

PAU-ARW20000SE
PAU-ARW20000SE

PAU-WA3430-1HC
PAU-WA3430-1HC

PAU-ANW12000S-HC
PAU-ANW12000S-HC

PAU-1300S-DR
PAU-1300S-DR

PAU-W2600S-DR
PAU-W2600S-DR

PAU-W2600HEF
PAU-W2600HEF

PAU-W5200HEF
PAU-W5200HEF

PAU-H3200-6KHC
PAU-H3200-6KHC

PAU-800RW
PAU-800RW

PAU-SU2900L
PAU-SU2900L

PAU-820S-CU
PAU-820S-CU

PAU-1300S-CU
PAU-1300S-CU

PAU-A820S-CE
PAU-A820S-CE

PAU-1300S-CE
PAU-1300S-CE

PAU-AR2623S-CE
PAU-AR2623S-CE
